企查查显示，近日，辽宁聚芯智能装备创新中心有限公司成立，经营范围包含：半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造等。企查查股权穿透显示，该公司由拓荆科技、恒运昌、珂玛科技等共同持股。