华海清科在2026年第三季度业绩说明会上表示，公司坚持以核心零部件自主研发为主，同步深化与国内精密制造、关键零部件企业协同培育的发展路径。目前公司零部件国产化率已达到较高水平，装备核心零部件均实现自主研发。后续公司将持续推进与国内零部件厂商的协同开发及联合验证，助力提升供应商技术能力，完善国内半导体装备产业链配套体系，为CMP、减薄、离子注入等多品类高端装备实现更大规模交付提供有力支撑。